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    电子束蒸镀设备

    上海伯东代理电子束蒸镀设备, 真空镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 提供各种类型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化设备, 擅长各种类型系统的集成.

    电子束蒸发镀膜机 E-Beam

     EBS-150
     真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 样品

    电子束蒸发

     EBS-150 UHV
     真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 样品

     EBS-300 Dual
     真空度 5E-7 torr, 双 E-gun

    磁控溅射镀膜机 Sputter

    Sputter 16
    真空度 2E-10 torr

    磁控溅射镀膜机

    Sputter 24
    真空度 5E-10 torr

    离子刻蚀 IBE

     IBE
     真空度 5E-10 torr, 离子源 RFICP 100

    离子蚀刻 IBE

     IBE
     真空度 5E-10 torr , 离子源 KDC 75

    分子束外延 MBE-10

    分子束外延设备在长二维材料以及拓扑材料, 氧化物方面都有不错的性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si / SiGe, 金属与金属氧化物 (因为我们有独步全球的激光加热器, 可到 2英寸), 以及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.

    MBE-10

    分子束外延 MBE-8

    MBE-8 可以成长三寸以下的样品, 样品温度可以加到 900 摄氏度, 如果是两寸以下的样品可以到 1100 摄氏度. 可以装置 8个束源炉, 最大容量 40cc

    分子束外延 MBE

    脉冲激光沉积 PLD-18L

    脉冲激光沉积设备 PLD-18L, 它可以与溅射枪, 积液池, 高压流变, 激光束控制相结合,可以放置 8×1 英寸的样品或 4×2 英寸的样品,

    脉冲激光沉积 PLD-18L

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