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    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
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    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机

    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
    上海伯东代理 Polycold® MaxCool 2000 冷冻机是一种闭环低温制冷系统, 可提供高达 2,000 瓦的冷却功率. 通过将水蒸气冻结在低温盘管或 V 形挡板等冷盘上来快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷冻机还适用于将物体冷却至低温, 例如半导体晶圆加工中使用的静电吸盘.使用 MaxCool 冷冻机可以显著减少抽气时间并提高产品产量.

    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵优点:
    1. 真空抽气时间缩短 75%
    2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
    3. 产品产量提高 20% 到 100%
    4. 在工艺过程中降低水蒸汽的分压力, 从而获得更高质量, 更好的附着力, 和多重沉积膜特性
    5. 相对于液氮制冷 LN2, Polycold 冷冻机选用无毒, 环保型冷媒, 可循环使用
    6. 通过电源管理最大限度地降低成本
    7. 适用于各种工艺的高容量冷却和加热
    8. 低温冷凝真空系统中的水蒸气, 抽速可达 164,000 l/s,真空度可达 3 x 10-9 torr(4 x 10-9 mbar)

    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵主要技术参数:

    标准性能

    最大负载: Watts

    2000

    抽水汽效率(理论值):l/s

    163,900 

    启动压力:atm

    1

    除霜时间:分钟

    4

    低温盘管, 连接管路

    盘管表面面积:m2

    1.1

    单管路:
    盘管直径:mm
    盘管长度:m

     

    16
    21.9

    双管路:
    盘管直径:mm
    盘管长度:m

     

    12
    14.6

    标准外部连接管长度:m

    2.4

    配套设施

    冷却水流量:rate l/min.
    13 C?
    18 C?
    24 C?
    29 C?

     

    6.8
    9.1
    13.6
    27.6

    功率 kW
    待机模式
    制冷模式, 低负载
    制冷模式, 最大负载

     

    5.5
    6.2
    8.8

    占地空间(最小):m3

    25

    工作噪音(最大):db

    72


    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 抽水汽效率:
    Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵
    Polycold 冷冻机应用:

    上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法. 与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用, 大大降低了企业成本. Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业.

    若您需要进一步的了解 polycold 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
    上海伯东: 叶小姐                               台湾伯东: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
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