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    氦质谱检漏仪光刻机检漏
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    氦质谱检漏仪光刻机检漏

    氦质谱检漏仪光刻机检漏
    上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.

    光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
    1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
    2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
    氦质谱检漏仪光刻机检漏
    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数:

    对氦气的最小检测漏率

    真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪模式 1E-8 Pa m3/s

    检测模式

    真空模式和吸枪模式
    检漏方法>>

    氦质谱检漏仪无油前级泵抽速

    1.7 m3/h

    检测气体

    4He , 3He, H2

    响应时间

    <1s

    对氦气的抽气速度

    1.1 l/s

    氦质谱检漏仪进气法兰

    DN 25 ISO-KF

    进气口最大压力

    15 hPa

    通讯接口

    RS-232

    工作温度

    10-40 °C

    噪音水平

    < 45 dB (A)

    尺寸

    350 X 245 X 141 mm

    重量

    21 kg (46 lb)

    鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请参考以下联络方式
    上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
    M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
    qq: 2821409400 
    www.imoozz.com                        www.hakuto-vacuum.com.tw

    现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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