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    电子束蒸发镀膜机 E-Beam
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    电子束蒸发镀膜机 E-Beam

    电子束蒸发镀膜 E-Beam
    上海伯东代理 E-Beam 电子束蒸发镀膜机 ( 电子蒸镀 ), 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.

    电子束蒸发镀膜机

     推荐设备型号: EBS-150
     标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程; 
     右边沉积腔内含一个电子束, 适用于约瑟夫森结,
     特性:
     真空度 5E-8 torr
     最大 8inch 样品
     基本可倾斜 / 旋转
     可选 IBAD
     全自动
     腔室水冷

     

     型号 EBS-150 UHV
     特性:

     真空度 5E-10 torr
     最大 6inch 样品
     基本可倾斜 / 旋转
     可选 IBAD
     全自动
     腔室水冷

     

    电子束蒸发

     型号 EBS-300 Dual
     特性:

     真空度 5E-7 torr
     行星机械手
     双 E-gun
     全自动加工
     软件控制


    E-Beam 电子束蒸发适用于
    Lift-off 工艺
    HMET, PHMET 晶体管
    Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化镓基片欧姆和肖特基接触
    IR waveguides 红外波导
    Thermal barriers 热障
    Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波应用
    MEMS 封装
    超导隧道结


    上海伯东代理电子束蒸镀设备,专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 电子束蒸发设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!

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    皇族电竞