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    KRI 考夫曼离子源 KDC 160
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    KRI 考夫曼离子源 KDC 160

    KRI 考夫曼离子源 KDC 160
    上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,离子能量最强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,最大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

    KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数

    型号

    KDC 160

    供电

    DC magnetic confinement

     - 阴极灯丝

    2

     - 阳极电压

    0-100V DC

    电子束

    OptiBeam™

     - 栅极

    专用, 自对准

     -栅极直径

    16 cm

    中和器

    灯丝

    电源控制

    KSC 1212

    配置

    -

     - 阴极中和器

    Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

     - 安装

    移动或快速法兰

     - 高度

    9.92'

     - 直径

    9.1'

     - 离子束

    聚焦
    平行
    散设

     -加工材料

    金属
    电介质
    半导体

     -工艺气体

    惰性
    活性
    混合

     -安装距离

    8-45”

     - 自动控制

    控制4种气体

    * 可选: 可调角度的支架

    KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域
    溅镀和蒸发镀膜 PC
    辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
    表面改性, 激活 SM
    离子溅射沉积和多层结构 IBSD
    离子蚀刻 IBE

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