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    镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
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    镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

    镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
    上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

    镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
    用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
    用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
    对测量结果的最小化背景影响
    提供压力高达 10 hPa 的压差型号
    多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
    灵活集成的紧凑尺寸
    通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

    镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
    半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

    镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
    Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

    镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
    镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
    对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
    对测量结果的最小化背景影响
    压力高达 10 hPa 的压差版本
    多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
    紧凑设计,易于系统集成
    通过各种数字和模拟输入和输出
    Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

    SPM 系统控制

    BRU 220

    电压

    115-230 V

    前级泵

    MVP 020-3

    四极控制

    QME 220

    带 SPM 离子源的分析仪

    QMA 220

    探测器

    C-SEM/Faraday

    杆系统:材料

    不锈钢

    杆系统:直径

    6 mm 

    杆系统:长度

    100 mm 

    检测极限(氩中):二氧化碳

    < 100 ppb

    检测极限(氩中):氧气

    < 100 ppb

    检测极限(氩中):氮

    < 100 ppb

    检测极限(氩中):水

    < 3000 ppb

    检测极限(氩中):水蒸气

    < 500 ppb or < 6000 ppb

    涡轮分子泵

    带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

    质量数

     

    1-100 amu or 1-200 amu

    过程压力至

    1 hPa or 10 hPa or 8hPa

    连接法兰(入口)

    DN 40 CF-F

    重量

    13 kg 

     

    若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
    上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
    T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
    qq: 2821409400

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